Henry Smith

Henry Smith

Profesor Emérito de Ingeniería Eléctrica en Instituto de Tecnología de Massachusetts

El Profesor Smith y sus compañeros de trabajo fueron responsables de una serie de innovaciones en la ciencia y la ingeniería a nanoescala, incluyendo: la litografía comformable-fotomáscara, radiografía la litografía, la máscara de cambio de fase, el desfasador atenuante, espacio-fase-bloqueado e litografía -beam, la litografía acromático-interferencia, la litografía de difracción-coherente, la fotolitografía de inmersión, una zona de la placa de matriz de la litografía, litografía óptica-absorbancia de modulación, la alineación interferométrica, graphoepitaxy, arrastre subboundary, con plantilla de auto-ensamblaje, montaje nanomembrana, y una variedad de cuántico-efecto, a corto canal, de un solo electrón, nanomagnetic, fotónicas de cristal y dispositivos microphotonic. El Profesor Smith tiene más de 40 patentes en Estados Unidos y ha publicado más de 400 artículos técnicos.

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